惠州洁净室施工工作台检测项目

1、洁净室风速

a)在主过滤器或扩散板下游10cm处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积，各面积中心点即为风速测点。但各测点间距不应大于25cm；

b)将各测点风速值计算出截面风速算术平均值及风速均匀率。

2、洁净室悬浮粒子数

a)吸风处的浓度（对于≥0.5um的粒子）不得小于35000粒/L；不能满足宜在吸风处发多分散气溶胶；

b)在距主过滤器或整流格栅出口250mm的平行断面的中心处连续测试5次，求其平均值，采样量不得小于1L。

3、洁净室沉降菌

将装有营养琼脂的j90mm培养皿置于工作台操作界面上，测量点按悬浮粒子布置，暴露0.5h后，盖上皿盖，取出培养皿在30℃～35℃的环境中培养48h。用肉眼计数可见的细菌集落，取其算术平均数。

4、洁净室照度

测点布置在洁净工作台横向的中心线上，均匀布置三点，取算术平均数作为洁净工作台的照度。

5、高效过滤器（PAO）检漏

向高效过滤器上游侧发气溶胶，同时用气溶胶发生器在下游侧距高效过滤器出口约2.5cm处进行扫描巡检。扫描速度≤5cm/s。当下游侧浓度与上游侧浓度的比大于0.01％时，则认为有明显泄露。惠州洁净室施工

6、洁净室噪声

洁净工作台的噪声测点应布置在工作台中心，距台面前沿20cm处，高度为110cm（相当操作人员坐着的耳部位置）。其他局部净化设备的噪声测点应布置在距设备主要表面几何中心的水平距离100cm，高度为150cm。宜四面各测定一次，取四点算术平均值。

7、洁净室气流流型

a)垂直气流试验

烟雾位于前窗内侧150mm，高度为300mm处从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内，洁净工作台的垂直下降气流在均流板下部均呈现下降模式，无向上气流。烟雾位于前窗内侧操作区1/2深度，高度为300mm处从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内，洁净工作台的垂直下降气流在均流板下部均呈现下降模式，无向上气流。烟雾距操作区后侧壁板150mm，高度为300mm处从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内，洁净工作台的垂直下降气流在均流板下部均呈现下降模式，无向上气流。

b)水平气流试验

烟雾位于前窗内侧操作区1/2深度，高度为300mm处从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内，洁净工作台的水平气流在散流孔前侧均呈现向外模式，无向内气流。